Capacidad y rendimiento de MOS

Estaba aprendiendo sobre las ventajas y los desafíos de reducir los transistores MOS. Encontré esta declaración en Wikipedia :

The main device dimensions are the transistor length, width, and the oxide thickness, each (used to) scale with a factor of 0.7 per node. This way, the transistor channel resistance does not change with scaling, while gate capacitance is cut by a factor of 0.7. Hence, the RC delay of the transistor scales with a factor of 0.7.

La reducción en el retardo RC significa una mejora en la velocidad de conmutación.

Pero según tengo entendido, la capacitancia por unidad de área viene dada por la relación C = eps/Tox , donde eps es el épsilon y Tox es el espesor del óxido. Entonces, cuando se reduce Tox, aumenta C, lo que a su vez debería aumentar la demora. Pero lo que dice wikipedia es lo contrario.

Entonces mi pregunta es, ¿ cómo reducir la escala del transistor reduce la capacitancia?

Cualquier buena referencia o enlace también será apreciada.

Respuestas (1)

La fórmula general para calcular la capacitancia es:

C = ϵ × A D

Donde Aes el área de las placas del capacitor, y Des la distancia entre cada placa. En términos usados ​​para diseñar un transistor, haríamos las siguientes sustituciones:

C = ϵ × W × L t o X

Donde Wy Lson el Ancho y Largo del transistor, y tox es el espesor del óxido (distancia entre placas del capacitor). Si tuviéramos que escalar los tres por un factor de n, entonces veríamos lo siguiente:

C norte mi w = ϵ × 0.7 W × 0.7 L 0.7 t o X = 0.7 ϵ × W × L t o X

C norte mi w = 0.7 × C o yo d

Esta escala no termina cambiando la resistencia del canal, porque tanto el ancho como la longitud están escalados. Al examinar la expresión de la corriente de drenaje del MOSFET, podemos ver que la corriente (y, de hecho, la resistencia del canal) no se ve afectada al escalar tanto el ancho como la longitud simultáneamente.

i D = 0.5 W L k norte ( V GRAMO S V t h ) 2

Como resultado, el escalado reduce la capacitancia total del circuito mientras mantiene una potencia de accionamiento equivalente. Tenga en cuenta (used to)en el artículo de Wikipedia: como los tamaños de las características se han reducido a aproximadamente 90 nm, esta relación con el grosor del óxido se ha vuelto más complicada.