Al crear un alto vacío para la deposición de películas delgadas, usamos una bomba rotatoria para alcanzar aproximadamente 0,001 torr y luego usamos la bomba de difusión para alcanzar un vacío aún mayor. ¿Por qué no podemos usar la bomba de difusión desde el principio? ¿Y por qué la bomba rotativa no puede lograr un mayor vacío?
Nota: utilizamos una bomba de difusión de aceite y una bomba de paletas rotativas.
Las bombas de difusión no pueden descargar directamente a la atmósfera. El alto vacío que crean sería difícil de mantener contra la presión exterior. Pueden funcionar solo en rangos de presión muy bajos. Si la presión de descarga es demasiado alta, el aceite puede volver a la cámara de vacío, lo que arruina todo el proceso. Además, el contacto directo del aceite calentado con la atmósfera exterior haría que el aceite se quemara.
Por lo tanto, las bombas de difusión descargan en una bomba de salida que mantiene una presión de vacío más alta, que luego descarga a la atmósfera.
Para responder a la segunda parte:
Una bomba de paletas rotativas comprime un volumen de aire en el lado de vacío y lo transporta a la salida. Una vez que se alcanza la presión final de vacío, el factor de compresión es tal que se alcanza la presión exterior para el volumen dado. Como el factor de compresión es finito, solo se puede lograr una presión final finita.
Guillermo
Presa Siddhartha
jon custer