Plano de orientación en oblea de semiconductores

En las obleas de semiconductores hay una línea recta, que se llama Orientación Plana.

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¿Qué son exactamente estos y cómo se forman?

Respuestas (2)

Como dice stevenh, uno de los propósitos es garantizar la orientación correcta durante el manejo. La otra razón es para indicar la orientación del cristal de la red y el dopaje de la oblea. Desde el sitio web de salas limpias de BYU :

Planos de obleas

Propósito y Función

  1. Orientación para equipos automáticos.

  2. Indique el tipo y la orientación del cristal.

Piso primario: el piso de mayor longitud ubicado en la circunferencia de la oblea. El piso primario tiene una orientación de cristal específica en relación con la superficie de la oblea; piso mayor.

Plano secundario: indica la orientación del cristal y el dopaje de la oblea. La ubicación de este piso varía.

Para cristales grandes no se muelen planos. En su lugar, se mecaniza una muesca con fines de posicionamiento y orientación.

La red cristalina se define por cómo creció la oblea desde la siembra inicial.
Es importante cortar las obleas a lo largo de la red cristalina si desea una ruptura limpia.

estructura de red cristalina

la razón #2 es la razón principal, la orientación del cristal. Dado que las obleas de 200 mm, solo unas pocas empresas usan planos y todos los demás usan muescas (por lo general, Japón y Corea usan el antiguo estilo plano). En días anteriores, se usaban diferentes orientaciones de cristal y polaridad de oblea y los planos te decían qué era la oblea. desde 200 mm en adelante, hay todos <100> tipo n, por lo que solo necesitan la orientación en una ubicación. También se hacen muescas y planos en el boule ANTES de cortarlo en obleas.

Como su nombre indica, deben garantizar la orientación correcta durante la manipulación. Si fueran completamente redondos, no habría forma de saber si la oblea no giraría ligeramente y luego, por ejemplo, en el proceso llamado cortar en cubitos , la sierra cortaría todos los troqueles. Lo cual sería, er, bastante malo :-(.

El lingote del que se cortan las obleas es cilíndrico y las obleas son originalmente redondas. Los pisos se crean cortando una parte de él.

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@stevenh esa no es la razón en absoluto. Los operadores de la sierra pueden ver fácilmente las líneas trazadas en el microscopio de la sierra y las superficies planas de la oblea NUNCA se utilizan durante el aserrado porque la oblea se monta en una cinta adhesiva durante el proceso.
@rawbrawb - ¿Qué es eso? ¿Tienen un carpintero con una sierra circular Black & Decker guiada por láser, siguiendo las líneas trazadas para cortar la oblea?